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离子束探针

lí zi shù tàn zhēn

ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄕㄨˋ ㄊㄢˋ ㄓㄣ

「离子束探针」是什么意思?

更新 2026-07-11 04:49:54

扩展释义

离子束探针,以聚焦很细(1~2微米)的高能(10~20千电子伏)一次离子束作为激发源照射样品表面,使其溅射出二次离子并引入质量分析器,按照质量与电荷之比进行质谱分析的高灵敏度微区成分分析仪器,聚焦很细,为1~2微米。

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