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真空镀膜机

zhēn kōng dù mó jī

ㄓㄣ ㄎㄨㄥ ㄉㄨˋ ㄇㄛˊ ㄐㄧ

「真空镀膜机」是什么意思?

更新 2026-07-10 09:44:03

扩展释义

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

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