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扩散炉

kuò sàn lú

ㄎㄨㄛˋ ㄙㄢˋ ㄌㄨˊ

「扩散炉」是什么意思?

更新 2026-07-11 06:52:40

扩展释义

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

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