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外延生长
wài yán shēng zhǎng
ㄨㄞˋ ㄧㄢˊ ㄕㄥ ㄓㄤˇ
「外延生长」是什么意思？
更新 2026-07-12 02:06:38
- 拼音字母wai yan sheng zhang
- 首字母wysz
- 注音符号ㄨㄞ ㄧㄢ ㄕㄥ ㄓㄤ
扩展释义
外延生长是指在单晶衬底（基片）上生长一层有一定要求的、与衬底晶向相同的单晶层，犹如原来的晶体向外延伸了一段。外延生长技术发展于50年代末60年代初。当时，为了制造高频大功率器件，需要减小集电极串联电阻，又要求材料能耐高压和大电流，因此需要在低阻值衬底上生长一层薄的高阻外延层。外延生长的新单晶层可在导电类型、电阻率等方面与衬底不同，还可以生长不同厚度和不同要求的多层单晶，从而大大提高器件设计的灵活性和器件的性能。外延工艺还广泛用于集成电路中的PN结隔离技术（见隔离技术）和大规模集成电路中改善材料质量方面。
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