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最小曝光量

zuì xiǎo pù guāng liàng

ㄗㄨㄟˋ ㄒㄧㄠˇ ㄆㄨˋ ㄍㄨㄤ ㄌㄧㄤˋ

「最小曝光量」是什么意思?

更新 2026-07-10 21:05:18

扩展释义

最小曝光量,完成下述作用所必需的光学辐照(能够产生光化学反应的电磁辐射)的总累积能量:(1)使给定厚度的胶膜恰好完全溶解复制一个正性光学掩模版;(2)使给定厚度抗蚀剂胶膜恰好不溶解复制一个负性光学掩模版。

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